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MEMS振蕩器是由 MEMS硅晶圓和 CMOS晶圓上下疊加而成,而CMOS晶圓則包括了NON MemoryPLL 鎖相環電路、起振電路與溫補電路。

MEMS硅振蕩器由兩部分組成:諧振器部分和IC振蕩部分。諧振器部分為MEMS硅晶圓,IC振蕩部分為CMOS晶圓。


全硅MEMS振荡器结构 | FAQS
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