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傳統石英晶體諧振器不同之處在于諧振部分不同,MEMS硅振蕩器諧振部分為硅片,石英振蕩器諧振部分為石英晶片。單從諧振部分進行比較,硅諧振器不及石英諧振器,常溫頻差穩定度,及溫度特性,均差于石英材料的諧振器


石英晶体谐振器与MEMS振荡器中谐振部分区别 | FAQS
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